特点
- 全范围测试
- 我们在斯德哥尔摩皇家理工学院（KTH）测试了包括反应性HiPIMS在内的全系列磁控管和工艺。
- 稳健
- 稳定可靠的放电过程——恒定电压，无不必要的振荡。
- 外部触发
- 外部触发，可通过主从配置进行控制——多个电源。
- 反应过程控制
- 可按要求实施反应性HiPIMS过程控制。该功能允许：
- 过渡模态中的稳定运行
- 保持化学计量成分的反应性气体流量具有较宽的工艺窗口
HiPSTER 6
Ionautics开发了一种新的快速HiPIMS电源，以满足未来HiPIMS工艺需求。它是一款适用于研发部门和学术界的6kW HiPIMS装置，适用于尺寸高达500 cm2的磁控管或10英寸左右的圆形靶标。
为了确保产品的卓越品质和优质性能，我们建议使用我们定制的HiPSTER直流装置和电缆。这些组件经过精心设计和严格测试，以确保在各种情况下都能提供稳定、可靠的性能。
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