HiPIMS
量身定制的涂层
Ionautics凭借深厚的专业知识和先进的技术,通过HiPIMS技术为各类先进材料提供创新的解决方案。IONAUTiCS的产品提供完整的工艺控制,能够稳定形成可靠、耐用且高质量的薄膜,同时具有高度的可重复性。此外,我们还提供完整的环保解决方案,包括相关的硬件设备以及专业知识,以满足您的各项材料工艺需求。
- 定制工艺开发
- 量身定制
- 环保
- 高品质
首席技术官寄语
关于HiPIMS
“高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)是使用脉冲等离子体放电从标准磁控管沉积薄膜,其中在沉积过程中使用的材料的大部分以离子而不是常用的中性粒子的形式到达工件。电离沉积通量的好处是它可以通过电场和磁场引导和操纵。这样就就能更好地控制涂层的性能。”
DANIEL LUNDIN教授
首席技术官兼董事会成员,
等离子体与涂层物理学副教授
应用
1. 定制涂层
我们密切合作,以满足您的期望和要求。我们在帮助全球各地的公司构建新的HiPIMS沉积系统和开发新的涂层以应对关键挑战方面有着良好的记录,例如:
- 增加硬度
- 减少摩擦
- 防止材料扩散
- 覆盖复杂结构
- 阶段定制材料
- 提高耐磨性
2. DLC涂层
3. ITO涂层
我们开发了一种强大的反应性HiPIMS工艺,在氧-氩气氛中使用铟锡靶生长ITO。我们的独特之处在于为ITO提供反应性HiPIMS工艺。
- 已证实对复杂形状表面有更好的覆盖:涂覆纳米结构
- 室温工艺
- 反应性工艺导致更高的沉积速率
- 柱间孔隙度降低,横向电阻率降低
- 表面粗糙度降低
4. 阻隔涂层
由于HiPIMS具有以下两个关键特点,因此可以通过增加涂层密度来提高性能:
- 1) 与直流溅射相比,溅射物种的离子化程度更高
- 2) 离子化材料通量对衬底的固有能量更高,即使没有偏压也是如此。
这为太阳能电池和燃料电池等创造高质量扩散阻隔层开辟了可能性。
5. 硬质涂层
更光滑、更致密的元素涂层以及反应沉积的化合物涂层,可提高硬度、减少腐蚀和减少摩擦。
- 反应性HiPIMS中滞后现象的减少导致沉积速率的显著增加
- 即使在粗糙的衬底材料(如钢)上也具有良好的覆盖性
- 异常致密的涂层
- 阶段定制提高了性能
6. 光学涂层
通过更平滑的界面和更致密的结构提高光学性能。
7. 电气涂层
提高了导电性,从而减少了涂层厚度和热负荷。对于绝缘体,可以获得更高的隔离度。
8. 3D涂层
在复杂形状衬底上实现均匀的薄膜覆盖。
HiPIMS
出版物
关于我公司HiPIMS技术的深度介绍
高功率脉冲磁控溅射薄膜处理简介,D. Lundin和K. Sarakinos,J. Mater.Res.27, 780, (2012)
HiPIMS
我们自豪地提供一系列高性能HiPIMS涂层。如果您没有找到您需要的,请与我们联系,进行定制项目。
为了保障涂层配方的工业化,我们还提供必要的硬件和技术专业知识,还提供低批量生产,这消除了对昂贵投资的需求。
想了解更多关于HiPIMS和离子化薄膜沉积的信息吗?阅读我们的HiPIMS技术简介,以了解有关我们工艺的更多信息。