特点
- 內秉离子加速
- 双极运行无需衬底偏置即可提供离子加速。
- 稳健
- 稳定可靠放电过程——恒定电压，无不必要的振荡。
- 外部触发
- 外部触发，可通过主从配置进行控制——多个电源。
- 反应过程控制
- 可根据要求实施反应性HiPIMS过程控制。该功能允许
- 过渡模态中的稳定运行
- 保持化学计量成分的反应性气体流量具有较宽的工艺窗口
HiPSTER 1 BiPolar
我们的HiPSTER Bipolar HiPIMS装置是新一代HiPIMS技术。它们由该领域的专家设计，这些专家在等离子体工艺开发和薄膜沉积方面有着优秀的记录。这种设计可以实现稳健且可重复的HiPIMS工艺。
为了确保产品的卓越品质和优质性能，我们建议使用我们定制的HiPSTER直流装置和电缆。这些组件经过精心设计和严格测试，以确保在各种情况下都能提供稳定、可靠的性能。
